簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="Mixture Design"


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    濕式蝕刻應用於晶圓切割技術之可行性探討
    • /103/ 碩士
    • 研究生: 蔡欣蓉 指導教授: 黃炳照 蘇威年
    • 本研究主旨係探討以金屬輔助化學蝕刻(Metal-assisted Chemical Etching),結合複合式線鋸(Multi-wire Sawing)切割矽晶圓之可行性。首先以無電鍍法,在不鏽鋼…
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